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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03230322(A) 申请公布日期 1991.10.14
申请号 JP19900024358 申请日期 1990.02.05
申请人 FUJI PHOTO FILM CO LTD 发明人 NAKADA JUNJI;TAKEUCHI HIDEAKI
分类号 G11B5/85;G11B5/851 主分类号 G11B5/85
代理机构 代理人
主权项
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