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发明名称 PRODUCTION OF SINGLE CRYSTALLINE SILICON
摘要
申请公布号 JPH03275598(A) 申请公布日期 1991.12.06
申请号 JP19900077399 申请日期 1990.03.27
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP;JAPAN SILICON CO LTD 发明人 FURUYA HISASHI;MORITA ETSURO;TATSUTA JIRO;SHIMANUKI YASUSHI;HARADA KAZUHIRO;KAGAWA NORIO
分类号 C30B15/20;C30B15/00;C30B29/06;H01L21/208 主分类号 C30B15/20
代理机构 代理人
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