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发明名称 CMIS SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH03285351(A) 申请公布日期 1991.12.16
申请号 JP19900084808 申请日期 1990.04.02
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KITA AKIO
分类号 H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
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