| 发明名称 |
PRODUCTION APPARATUS FOR SILICON SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH046195(A) |
申请公布日期 |
1992.01.10 |
| 申请号 |
JP19900104868 |
申请日期 |
1990.04.20 |
| 申请人 |
NKK CORP |
发明人 |
NAKAHAMA YASUMITSU;SHIMA YOSHINOBU;SUZUKI MAKOTO;FUJIBAYASHI TERUO |
| 分类号 |
C30B15/00;C30B29/06;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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