发明名称 VAPOR GROWTH EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH047847(A) 申请公布日期 1992.01.13
申请号 JP19900111518 申请日期 1990.04.25
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YAMAMOTO TAMOTSU;UEDA TOSHIYUKI;SAITO TETSUO;YAMAMOTO KOSAKU;MURAKAMI SATOSHI
分类号 H01L21/205;C23C16/448;H01L21/365 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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