发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0422000(A) 申请公布日期 1992.01.24
申请号 JP19900123012 申请日期 1990.05.15
申请人 ASAHI KASEI MAIKURO SHISUTEMU KK 发明人 KAMO SHO
分类号 G01R19/00;G11C29/00;G11C29/12;H01L21/66;H01L21/822;H01L21/8247;H01L27/04;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 G01R19/00
代理机构 代理人
主权项
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