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发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04103762(A) 申请公布日期 1992.04.06
申请号 JP19900222147 申请日期 1990.08.23
申请人 RICOH CO LTD 发明人 TANAKA MAKOTO;OTA WASABURO
分类号 C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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