| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND INSPECTING METHOD THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04139850(A) |
申请公布日期 |
1992.05.13 |
| 申请号 |
JP19900264003 |
申请日期 |
1990.10.01 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
NAKADA YOSHIRO;FUJIWARA ATSUSHI;SHIBAYAMA AKINORI |
| 分类号 |
H01L27/10;G01R31/28;H01L21/66 |
主分类号 |
H01L27/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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