电子束中点对准之方法与装置

摘要

本发明藉由与电子束轴正交之磁场，来将真空镀膜器中之电子束导引及中点对齐；有关此磁场之组态和控制或其旋转轴之决定性信号；系利用一视讯系统，即一个视像摄影机，侦测电子束于蒸镀源表面所造成的烧燃点，及其对应之影像评估所供应。