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发明名称
PREVENTION OF CONTAMINATION BY LIVING BACTERIA IN PURE WATER CLEANING VESSEL
摘要
申请公布号
JPH04167428(A)
申请公布日期
1992.06.15
申请号
JP19900292168
申请日期
1990.10.31
申请人
KAWASAKI STEEL CORP
发明人
OHIRA YOSHIAKI
分类号
C02F1/00;H01L21/304
主分类号
C02F1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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