| 发明名称 |
PLASMA PRODUCING POSITION MONITORING DEVICE FOR MICROWAVE PLASMA CVD DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04187773(A) |
申请公布日期 |
1992.07.06 |
| 申请号 |
JP19900316270 |
申请日期 |
1990.11.20 |
| 申请人 |
KOBE STEEL LTD |
发明人 |
MURAKAMI TSUDOI;NISHIKAWA KOHEI |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/27;C23C16/511;C23C16/52 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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