发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR CONTINUOUSLY FORMING LARGE-AREA FUNCTIONAL DEPOSITED FILM BY MICROWAVE PLASMA CVD METHOD
摘要
申请公布号 JPH04198481(A) 申请公布日期 1992.07.17
申请号 JP19900332678 申请日期 1990.11.29
申请人 CANON INC 发明人 KANAI MASAHIRO
分类号 C23C16/50;C23C16/511 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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