| 摘要 |
[과제] 나사 홈부 내에서의 가스의 고체화를 억제하는 진공 펌프 및 진공 펌프에 이용되는 단열 스페이서를 제공한다. [해결 수단] 진공 펌프(1)는, 케이싱(10)과 나사 홈부(71)를 가지는 외주측 스테이터(70) 사이에 끼워 설치되고, 케이싱(10)과 외주측 스테이터(70) 사이에 간극을 둔 상태로 외주측 스테이터(70)를 로터(20)와 동축 상에서 로터 경방향으로 지지하며, 케이싱(10) 및 외주측 스테이터(70)보다 저열전도율의 단열 스페이서(90)를 구비하고 있다. |
