| 发明名称 |
METHOD FOR GENERATING FLOW OF ION TO ELECTRONIC CYCLOTRON RESONANCE APPARATUS AND SUBSTRATE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH04306598(A) |
申请公布日期 |
1992.10.29 |
| 申请号 |
JP19910195189 |
申请日期 |
1991.08.05 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
JIYON KAATO FUOOSUTAA;UIRIAMU MAACHIN HORUBAA;JIYOSEFU SUKINAA ROOGAN |
| 分类号 |
B01J19/08;C23C14/35;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/46 |
主分类号 |
B01J19/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
