发明名称 PIEZOELECTRIC ACTUATOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH04333296(A) 申请公布日期 1992.11.20
申请号 JP19910102963 申请日期 1991.05.09
申请人 NEC CORP 发明人 TOKUMARU TATSUO
分类号 H01L41/083;H01L41/09 主分类号 H01L41/083
代理机构 代理人
主权项
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