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发明名称 METHOD AND SYSTEM FOR INSPECTING SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 KR930003089(B1) 申请公布日期 1993.04.17
申请号 KR19890007594 申请日期 1989.06.02
申请人 TOKYO SEIMITSU CO., LTD. 发明人 HORIE, HAJIME
分类号 G01R31/00;G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/00
代理机构 代理人
主权项
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