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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR SILICON WAFER
摘要
申请公布号 JPH05102112(A) 申请公布日期 1993.04.23
申请号 JP19910285666 申请日期 1991.10.04
申请人 KYUSHU ELECTRON METAL CO LTD;SUMITOMO SHICHITSUKUSU KK 发明人 KOMATSU YUKIO;NISHIKAWA HIDESHI;SANO MASAKAZU
分类号 H01L21/304;H01L21/316 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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