| 摘要 |
마스크의 에리어의 공중 이미지를 획득하고 - 공중 이미지는, 마스크의 에리어의 일루미네이팅을 수반하는, 리소그래피 툴에 의한 리소그래피 공정 동안 객체의 포토레지스트 상에 형성될 예상 이미지를 나타내고, 포토레지스트는 인쇄 적성 임계치를 갖고, 리소그래피 공정은 세기 임계치를 초과하지 않는 예상 이미지의 픽셀들에서 허용 가능한 변경들을 도입하는 공정 구간을 나타냄 - ; 마스크의 에리어에서 적어도 하나의 취약점을 검색 - 각각의 취약점은 세기 임계치를 초과하지 않는 거리만큼 인쇄 적성 임계치로부터 이격되는 공중 이미지의 로컬 극점이거나; 또는 인쇄 적성 임계치의 교차점이고 미리 정의된 임계치 아래에 있는 기울기로 되어 있음 - 하기 위한 명령어들을 저장하는 컴퓨터 프로그램 제품 및 검사 시스템이 개시된다. |
