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发明名称 METHOD OF MAKING INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 RU1671070(C) 申请公布日期 1993.05.23
申请号 SU19894749089 申请日期 1989.10.11
申请人 NAUCHNO-PROIZVODSTVENNOE OB"EDINENIE "ROTOR";NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT PRIKLADNYKH FIZICHESKIKH PROBLEM IM.A.N.SEVCHENKO 发明人 GOLUBEV N.F.;LATYSHEV A.V.;LOMAKO V.M.;PROKHOTSKIJ YU.M.;SAVENOK E.D.;OGURTSOV G.I.;TARASOVA O.V.
分类号 H01L21/265;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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