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发明名称 VORRICHTUNG FUER DEN TRANSPORT VON SUBSTRATEN
摘要
申请公布号 DE4139549(A1) 申请公布日期 1993.06.03
申请号 DE19914139549 申请日期 1991.11.30
申请人 LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE 发明人 MAHLER, PETER, 6452 HAINBURG, DE;WOLF, HANS, 6455 ERLENSEE, DE
分类号 B65G49/06;B65G49/07;H01L21/677 主分类号 B65G49/06
代理机构 代理人
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