SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS SUBSTRATE PROCESSING METHOD AND COMPUTER READABLE STORAGE MEDIUM HAVING SUBSTRATE PROCESSING PROGRAM

摘要

본 발명은 기판의 재질이나 표면 상태 등의 영향을 받는 일없이 기판의 유지 상태의 양부를 정확하게 판단할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 과제로 한다. 본 발명에서는, 기판(2)을 유지하는 기판 유지 수단(22)과, 상기 기판 유지 수단(22)에서 상기 기판(2)을 정상적으로 유지했을 때에 상기 기판(2)의 끝가장자리부가 존재하는 영역을 촬영하는 카메라(54)와, 상기 카메라(54)로 촬영된 화상에 기초하여 상기 기판 유지 수단(22)에 의한 상기 기판(2)의 유지 상태를 판단하는 제어 수단(26)을 갖는 것으로 했다.