The MEMS thermopile sensor and Method of fabricating the same

摘要

본 발명은 하부전극이 형성된 기판을 포함하는 하부 구조체; 및 적어도 두 개 이상의 금속앵커에 의해 상기 하부 구조체와 서로 이격되고, 적외선 흡수층 및 적어도 두 개 이상의 열전체를 구비하는, 상부 구조체;를 포함하는, 멤스 써모파일 센서 및 그 제조방법을 제공한다.