Method of manufacturing a single grain silicon and thing film transistor comprising a single grain silicon channel

摘要

단결정 실리콘 및 이를 포함하는 박막 트랜지스터의 제조 방법이 개시된다. 개시된 단결정 실리콘 형성 방법은 실리콘층 측부에 사이드월을 형성하고, 그 상부에 장벽층을 형성한 뒤, 레이저에 의한 열처리 공정을 실시함으로써, 실리콘층을 측면 단결정시킬 수 있다.