碳氮共掺法制备氮化硅的连续工艺和制得的氮化硅

摘要

本发明涉及氮化硅细粉的制造工艺、该细粉及由该细粉所制得的烧结物。本发明的工艺包括在一种选自Be、Mg、Ca、Sr、Gc、Sn、Ti、Hf、Na和Ba的金属的挥发性化合物存在下，二氧化硅、碳和晶种在一个具有温度梯度的反应区中在逆流氮气中进行的连续反应，所述反应区包括所述金属化合物在其中变成气态的一个热区和所述气态的金属化合物在其中冷凝的一个冷区，所述气态金属化合物由逆向的氮气流从热区带到冷区。

主权项

1、制造氮化硅细粉的工艺，包括在一种选自Be、Mg、Ca、Sr、Ge、Sn、Ti、Hf、Na和Ba的金属的挥发性化合物存在下，二氧化硅、碳和晶种在一个具有温度梯度的反应区中在逆流的氮气中进行的连续反应，所述反应区包括所述金属化合物在其中变成气态的一个热区和所述气态金属化合物在其中冷凝的一个冷区，所述气态金属化合物由逆向的氮气从热区带到冷区。