Ce PZT CERIUM-DOPED PZT PIEZOELECTRIC FILM

摘要

이 Ce 도프의 PZT 계 압전체막은, 일반식 : PbCeZrTiO으로 나타내는 Ce 도프의 복합 금속 산화물로 이루어진다. 또 상기 일반식 중의 x, y 및 z 는, 0.005 ≤ x ≤ 0.05, 0.40 ≤ y ≤ 0.55, 및 0.95 ≤ z ≤ 1.15 를 각각 만족한다. 또한 상기 Ce 도프의 PZT 계 압전체막의 분극량의 히스테리시스는 그 중심으로부터 부측으로 4 ㎸/㎝ 이상 시프트하는 것이 바람직하다.