Apparatus for laser chemical vapour deposition.,申请号EP19880120152-传众专利搜索

发明名称	Apparatus for laser chemical vapour deposition.
摘要
申请公布号	EP0319021(B1)	申请公布日期	1993.11.18
申请号	EP19880120152	申请日期	1988.12.02
申请人	FUJITSU LIMITED	发明人	MUKAI, RYOICHI
分类号	C23C16/48;H01L21/205;H01L21/263;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31;C23C16/22	主分类号	C23C16/48
代理机构		代理人
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