| 摘要 |
센서 와이어에 직류 전압을 인가하는 것이 아니고, 센서 와이어에 펄스 신호를 공급하여, 센서 와이어를 발열시킴으로써, 센서 와이어에 공급되는 신호 강도는 유지하면서 에너지량을 저감하거나, 센서 와이어에 공급되는 에너지량은 유지하면서 신호 강도를 증대시키거나 한다. 이에 의해, 측정 정밀도의 저하를 억제하면서 센서 와이어로부터의 발열을 저감하거나, 센서 와이어로부터의 발열의 증대를 억제하면서 측정 정밀도를 향상시키거나 할 수 있는, 열식 질량 유량계에 의한 질량 유량의 측정 방법을 제공한다. |
