DEVICE FOR SUPPLYING A MULTI-STAGE DRY-RUNNING VACUUM PUMP WITH INERT GAS.

摘要

La présente invention se rapporte à un système pour l'alimentation en gaz inerte d'une pompe à vide à étages multiples fonctionnant à sec (1), comportant des systèmes pour la distribution du gaz inerte aux étages de la pompe. Afin de surveiller le débit du gaz inerte et/ou de pouvoir modifier son débit, un dispositif construit selon le principe modulaire (36) est proposé, avec une entrée de gaz inerte, des sorties de gaz inerte, ainsi que des conduites de gaz inerte. Le dispositif est équipé de composants de surveillance.