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发明名称 ECR ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH065550(A) 申请公布日期 1994.01.14
申请号 JP19920160596 申请日期 1992.06.19
申请人 KOBE STEEL LTD 发明人 NOZAWA TOSHIHISA;KINOSHITA TAKASHI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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