| 发明名称 |
ペリクルを製造するための装置および方法ならびにペリクル |
| 摘要 |
ペリクルを製造するための装置であり、装置は、膜に応力を加えるための応力付加アセンブリと、基板を支持するための基板サポートとを備え、応力付加アセンブリと基板サポートは、膜に応力が付加された際に基板が膜と接触するように、相互移動することができる装置。【選択図】図４ |
| 申请公布号 |
JP2016539372(A) |
申请公布日期 |
2016.12.15 |
| 申请号 |
JP20160533605 |
申请日期 |
2014.11.19 |
| 申请人 |
エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． |
发明人 |
ヤンセン，マールテン，マティス，マリヌス;アリアス エスピノーザ，ホアン，ディエゴ;デ クスター，ヨハネス，ペトラス，ヘンリカス |
| 分类号 |
G03F1/62;G03F1/24 |
主分类号 |
G03F1/62 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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