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发明名称 CANTILEVER FOR SCANNING TYPE PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH0652820(A) 申请公布日期 1994.02.25
申请号 JP19920203757 申请日期 1992.07.30
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 TODA AKITOSHI
分类号 G01B21/30;G01Q60/38;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
主权项
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