| 发明名称 |
Methods and Apparatus for Cleaning Objects |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CA2111784(A1) |
申请公布日期 |
1994.06.19 |
| 申请号 |
CA19932111784 |
申请日期 |
1993.12.17 |
| 申请人 |
SPECIALTY COATING SYSTEMS, INC. |
发明人 |
BOK, HENDRIK F. |
| 分类号 |
B05C9/10;B08B3/12;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):B08B3/10 |
主分类号 |
B05C9/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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