| 发明名称 |
CERAMIC COATINGS FROM THE PYROLYSIS IN AMMONIA OF MIXTURES OF SILICATE ESTERS AND OTHER METAL OXIDE PRECURSORS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR940008355(B1) |
申请公布日期 |
1994.09.12 |
| 申请号 |
KR19890004571 |
申请日期 |
1989.04.07 |
| 申请人 |
DOW CORNING CORP. |
发明人 |
HALSUKA, LOREN A.;MICHAEL, KEITH W.;TARHAY, LEO |
| 分类号 |
C04B41/87;C04B41/45;C04B41/52;C04B41/89;C23C18/12;H01L21/314;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/04;H01L21/31 |
主分类号 |
C04B41/87 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
