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发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH06283480(A) 申请公布日期 1994.10.07
申请号 JP19930092527 申请日期 1993.03.26
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAKAGAWA HIDEO;FUKUTO KENJI;MITSUSAKA AKIO;KUBOTA MASABUMI
分类号 C04B41/91;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C04B41/91
代理机构 代理人
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