ELECTRODE PLATE FOR PLASMA ETCHING,申请号KR19900015828-传众专利搜索

发明名称	ELECTRODE PLATE FOR PLASMA ETCHING
摘要
申请公布号	KR940010507(B1)	申请公布日期	1994.10.24
申请号	KR19900015828	申请日期	1990.10.05
申请人	TOKAI CARBON CO., LTD.	发明人	ITOH, HAJIME
分类号	H01L21/302;C01B31/02;H01J9/14;H01J37/32;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	H01L21/302
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