| 发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING MIM-STRUCTURE WITH N-SHAPE CHARACTERISTIC |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
RU1120880(C) |
申请公布日期 |
1994.10.30 |
| 申请号 |
SU19833625202 |
申请日期 |
1983.07.13 |
| 申请人 |
INSTITUT ELEKTRONIKI AN BSSR |
发明人 |
GRIGORISHIN I.L.;KUKHNOVETS V.N.;SIDORENKO G.A.;GOVYADINOV A.N. |
| 分类号 |
H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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