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发明名称 SEMICONDUCTOR SUBSTRATE GRINDING METHOD
摘要
申请公布号 JPH076986(A) 申请公布日期 1995.01.10
申请号 JP19930144773 申请日期 1993.06.16
申请人 NIPPONDENSO CO LTD 发明人 FUKAYA AKINARI;IIO JUNICHI
分类号 B24B1/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B24B1/00
代理机构 代理人
主权项
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