| 摘要 |
본 발명은 검사접촉장치에 관한 것으로서; 플레이트의 넓은 면이 시험체와 마주보게 되며, 위치 고정핀이 삽입되는 위치 고정홀이 1개 이상 형성되어 있으며, 프로브가 삽입 설치되는 복수의 프로브 홀이 형성되어 있는 제1 가이드 플레이트와; 상기 제1 가이드 플레이트와 평행하게 위치하며, 위치 고정핀이 삽입되는 위치 고정홀이 1개 이상 형성되어 있으며, 프로브가 삽입 설치되는 복수의 프로브 홀이 형성되어 있는 제2 가이드 플레이트와; 상기 제1 가이드 플레이트와 상기 제2 가이드 플레이트 사이에 있으며, 프로브가 관통하는 프로브 홀이 형성되어 있으며, 상기 제1 가이드 플레이트와 상대적 위치가 변화 가능한 중간 플레이트와; 상기 제1 가이드 플레이트에 형성된 위치 고정홀과 상기 제2 가이드 플레이트에 형성된 위치 고정홀에 공통으로 삽입되며, 제1 가이드 플레이트와 제2 가이드 플레이트의 상대적 위치를 고정하는 위치 고정핀과; 상기 제1 가이드 플레이트에 형성된 프로브 홀과 상기 제2 가이드 플레이트에 형성된 프로브 홀과 상기 중간 플레이트에 형성된 프로브 홀에 공통으로 삽입되며, 하단부가 시험체에 접촉하게 되는 복수의 프로브를 포함하여 구성되며; 상기 제1 가이드 플레이트에 형성된 프로브 홀의 중심 간의 최소 거리가 상기 제2 가이드 플레이트에 형성된 프로브 홀의 중심 간의 최소 거리와 서로 다른 것을 특징으로 하는 검사접촉장치를 제공한다. 상기와 같은 본 발명에 따르면, 인접한 프로브가 서로 평행하지 않게 되므로, 프로브의 흔들림이 있어도 이웃한 프로브와 합선될 가능성이 매우 낮아지며, 프로브 간의 합선을 방지할 수 있다. 또한, 제2 가이드 플레이트에 있는 프로브 홀의 피치가 시험체 전극의 피치보다 더 크게 되어서, 공간변형기의 기능을 수행하게 된다. |
