| 摘要 |
본 발명은 호스트에서 제공하는 정보와 기능들을 관련 장비에서 바로 활용함으로써 작업자의 작업 동선을 최소화하고, 작업성과 장비관리 효율을 극대화시킬 수 있으며, 반도제 공정 장비의 용이한 전산화 및 장비 데이터의 장기간 보존을 도모할 수 있는 반도체공정 장비의 전산화용 단말장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 투입자재 ID 획득을 위하여 컨트롤러 일체형으로 구성되고, 장비의 원격제어를 위한 라우터 일체형으로 구성되며, 관련 장비의 기능들을 활용할 수 있도록 관련 장비와 일체 형태로 구성되어 장비의 데이터를 장기간 저장가능하도록 구성되고, 장비와 상위 호스트와의 정보전송이 가능한 SECS/GEM 드라이버를 내장하도록 구성되며, 확장성을 고려하여 I/O포트 및 PCI 포트를 내장하도록 구성되고, 클린룸에 적용가능한 팬리스 방식으로 구성되는 반도체공정 장비의 전산화용 단말장치가 제공된다. |
