| 主权项 |
1.容纳盘状物体之料盒之运输装置,包括一个料盒箱,该料盒箱具有可打开的底部以及设在箱壁(2)上的安放面(6),该底部和安放面可以放在超净室壳体的承载台(17)上,该承载台具有一个可以下降和支撑料盒箱底部及料盒(3)的平板(18),其特征是,在箱壁(2,29,56)内布置的可封闭的通道中,一个进气道以,(4,31,54)与气体扩散器连通,一个排气道(5,37,55)与位于气体扩散器对面并与料盒(3)相邻的排气口连通。2.如申请专利范围第1项的运输装置,其中,气体扩散器由一个以可拆方式固定在箱壁(2)上的排气体分流条(11)组成,它与进气道(4)密封连接,基本上与盘状物体之间的空间相通,并且其气体分布口相邻于料盒(3)的顶面和底面,所述运输装置的排气道由一个以可拆方式固定在箱壁(2)上并具有排气(14)的气体排流条(13)组成,它与排气道(5)密封连接,并且气道(4,5)通向安放面(6)上的可自动关闭的阀(7,8),当料盒箱定位后,位于安放面(6)的对面并且自承载台(17)上伸出的接管(21,24)可将阀打开。3.如申请专利范围第2项的运输装置,其中,打开阀(7)的接管(21)与气体源(20)的进气道(4)连通,气体源的输气由料盒(3)安装时所操纵的一个开关(19)控制。4.如申请专利范围第3项的运输装置,其中,打开阀(8)的接管(24)经排气道(5)与真空连通,真空的产生由料盒(3)安放时所操纵的一个开关(19)控制。5.如申请专利范围第1项的运输装置,其中,气体扩散器包括一个扩张式进气室(32,68),它的边界由箱壁(29,56)的弯折部分构成,在进气室(32,68)旁,气流方向的下游,有一个固定在可打开的底部上扩散板(34,69),排气部分由一个排气道(37,55)构成,它通过一个其边界由箱壁(29,56)的弯折部分构成的扩张式排气室(38,70),与料盒容器的内腔连通。6.如申请专利范围第5项的运输装置,其中,进气道(31)和排气道(37)可以被气压控制的进气阀和排气阀(30,36)关闭。7.如申请专利范围第5项的运输装置,其中,进气道(54)和排气道(55)上设有挡板(52,53),挡板的动作由对接装置以(46,47)的可以线性移动的、带有排气进气口(50 |
