| 主权项 |
1.一种剥离抗蚀剂用液体之管理装置,其特征为,具有:根据吸光光度计(16)检出抗蚀剂剥离液的溶解抗蚀剂浓度而排出抗蚀剂剥离液之抗蚀剂剥离液排出装置,和根据液面水平计(3)检出抗蚀剂剥离液的液面水平而补给有机溶媒和烷醇胺之第一补给装置,和根据吸光光度计(15)检出抗蚀剂剥离液的烷醇胺浓度而补给有机溶媒及烷醇胺之至少一方的第二补给装置者。2.如申请专利范围第1项所述之剥离抗蚀剂用液体之管理装置,其中,代替补给有机溶媒和烷醇胺,而使之补给事先调和有机溶媒和烷醇胺的抗蚀剂剥离新液者。3.一种剥离抗蚀剂用液体之管理装置,其特征为,具有:根据吸光光度计(16)检出抗蚀剂剥离液的溶解抗蚀剂浓度而补给有机溶媒和烷醇胺之第三补给装置,和根据吸光光度计(15)检出抗蚀剂剥离液的烷醇胺浓度而补给有机溶媒及烷醇胺之至少一方的第二补给装置者。4.如申请专利范围第3项所述之剥离抗蚀剂用液体之管理装置,其中,在第三补给装置,代替补给有机溶媒和烷醇胺,而使之补给事先调和有机溶媒和烷醇胺的抗蚀剂剥离新液者。图示简单说明:[图1]为显示本发明的一实施例之剥离抗蚀剂用液体之管理装置的系统图。[图2]为显示本发明的其他实施例之剥离抗蚀剂用液体之管理装置的系统图。[图3]为显示本发明的其他实施例之剥离抗蚀剂用液体之管理装置的系统图。[图4]为显示本发明的更其他实施例之剥离抗蚀剂用液体之管理装置的系统图。[图5]为显示有关本发明的抗蚀剂剥离液之MEA浓度和吸光的关系之实施例的图表。[图6]为显示抗蚀剂剥离处理张数和溶解抗蚀剂浓度的关系之操作例的图表。[图7]为显示有关本发明的抗蚀剂剥离处理张数之抗蚀剂剥离液的吸光度之关系的图表。[图8]为显示有关本发明的抗蚀剂剥离液之溶解抗蚀剂浓度和吸光度的关系之图表。[图9]在显示在习知法的MEA浓度和操作时间之关系的图表。[图10]为显示在使用本发明之装置时的MEA浓度和操作时间之关系的图表。[图11]为显示在习知法的溶解抗蚀剂浓度和操作时间之关系的图表。[图12]为显示在使用本发明之装置时的溶解抗蚀剂浓度和 |
