发明名称 快闪记忆单元的构造及其制造方法
摘要 一种快闪记忆单元的构造包括:一第一型半导体基板,具第二型掺植的源极区和汲极区,且于上述源极区和汲极区之间形成有通道区;一漂浮闸极,绝缘地形成于靠上述汲极区侧的上述通道区上;一导电边墙间隔物,绝缘地形成于上述漂浮闸极侧边之靠上述源极区侧的通道区上;以及一控制闸极,绝缘地形成于上述漂浮闸极及导电边墙间隔物上。以及上述快闪记忆单元的制造方法。
申请公布号 TW258833 申请公布日期 1995.10.01
申请号 TW084100107 申请日期 1995.01.09
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 洪允锭
分类号 H01L27/115 主分类号 H01L27/115
代理机构 代理人 詹铭文 台北巿罗斯福路二段一○○号七楼之一
主权项
地址 新竹科学工业园区工业东三路三号