发明名称 | 快闪记忆单元的构造及其制造方法 | ||
摘要 | 一种快闪记忆单元的构造包括:一第一型半导体基板,具第二型掺植的源极区和汲极区,且于上述源极区和汲极区之间形成有通道区;一漂浮闸极,绝缘地形成于靠上述汲极区侧的上述通道区上;一导电边墙间隔物,绝缘地形成于上述漂浮闸极侧边之靠上述源极区侧的通道区上;以及一控制闸极,绝缘地形成于上述漂浮闸极及导电边墙间隔物上。以及上述快闪记忆单元的制造方法。 | ||
申请公布号 | TW258833 | 申请公布日期 | 1995.10.01 |
申请号 | TW084100107 | 申请日期 | 1995.01.09 |
申请人 | 联华电子股份有限公司 | 发明人 | 洪允锭 |
分类号 | H01L27/115 | 主分类号 | H01L27/115 |
代理机构 | 代理人 | 詹铭文 台北巿罗斯福路二段一○○号七楼之一 | |
主权项 | |||
地址 | 新竹科学工业园区工业东三路三号 |