Verfahren und Struktur zur Herstellung einer Isolierung aus VLSI- und ULSI-Schaltungen.,申请号DE1989624468-传众专利搜索

发明名称	Verfahren und Struktur zur Herstellung einer Isolierung aus VLSI- und ULSI-Schaltungen.
摘要
申请公布号	DE68924468(D1)	申请公布日期	1995.11.09
申请号	DE1989624468	申请日期	1989.11.08
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US	发明人	ROBERTS, STANLEY, BURLINGTON VERMONT 05401, US;KAANTA, CARTER WELLING, COLCHESTER VERMONT 05446, US
分类号	H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768	主分类号	H01L21/768
代理机构		代理人
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