发明名称 光敏性组成物及其用途
摘要 一种光敏性组成物,其系包括:(A)具羧基及羟笨基之聚合物,每公斤该聚合物(A)具有0.5-10当量之羧基以及2-8当量之羟笨基,该聚合物(A)之数目平均分子量为约500至约100,000,玻璃转移温度为5-70℃,且其系一种羟基笨乙烯和丙烯酸系单体之共聚物或一种令甲醛与羟基笨甲酸和酚之混合物予以缩合而得之聚合物;(B)于分子中具至少二个乙烯醚基之化合物,其系具二个至四个各别以式-R-O-CH=CH2表示之乙烯醚基的低分子量或高分子量化合物,式中R表1~6个碳原子之直链或支链伸烷基;或系聚酚化合物及经卤化烷基乙烯醚之缩合产物,或包含芳香族环之聚异氰酸酯化合物及羟烷基乙烯醚之反应产物;(C)当用光化性光线照射时产生酸之化合物,其系选自下列式(Ⅰ)至(XIV)之化合物:Ar2I⊕XΘ (Ⅰ)式中Ar表芳基如笨基或类似物;及XΘ表PF6Θ, SbF6Θ或AsF6Θ,Ar3 S⊕XΘ (Ⅱ)式中Ar及XΘ具如上相同之定义,□ (Ⅲ)式中R表1-12个碳原子之烷基或1-12碳原子之烷氧基;n表0-3;及XΘ具如上相同之定义,□ (Ⅳ)式中XΘ具如上相同之定义,□ (Ⅴ)式中XΘ具如上相同之定义,□ (Ⅵ)式中XΘ具如上相同之定义,□ (Ⅶ)式中XΘ具如上相同之定义,□ (Ⅷ)□ (Ⅸ)式中R1及R2分别表1-12个碳子之烷基或1-12个碳原子之烷氧基,□ (Ⅹ)□ (XI)式R1及R2具如上相同之定义,□ (XII)□ (XIII)□ (XIV)其中该组成物所包括具乙烯醚基之化合物(B)之量基于每100份重量之聚合物(A)而言,为5-150份重量;以及光化学产生酸之化合物(C)之量基于每100份重量之聚合物(A)及具乙烯醚基之化合物(B)之总量而言,为0.1-40份重量,且该组成物可使用作为具有高解所度及优异精细像图之可形成性之正型光阻剂,印刷用材料等。
申请公布号 TW265425 申请公布日期 1995.12.11
申请号 TW083103371 申请日期 1994.04.15
申请人 关西油漆股份有限公司 发明人 山冈亚夫;今井玄儿;岩泽直纯
分类号 G03F7/39 主分类号 G03F7/39
代理机构 代理人 何金涂 台北巿大安区敦化南路二段七十七号八楼
主权项 1. 一种光敏性组成物,其系包括:(a) 具羧基及羟苯基之聚合物,每公斤该聚合物(A)具有0.5-10当量之羧基以及2-8当量之羟苯基,该聚合物(A)之数目平均分子量为500至100,000玻璃转移温度为5-70℃,且其系一种羟基苯乙烯和丙烯酸系单体之共聚物或一种令甲醛与羟基苯甲酸和酚之混合物予以缩合而得之聚合物;(b) 于分子中具至少二个乙烯醚基之化合物,其系具二个至四个各别以式-R-O-CH=CH@ss2表示之乙烯醚基的低分子量或高分子量化合物,式中R表1-6个碳原子之直链或支链伸烷基;或系聚酚化合物及经卤化烷基乙烯醚之缩合产物,或包含芳香族环之聚异氰酸酯化合物及羟烷基乙烯醚之反应产物;(c) 当用光化性光线照射时产生酸之化合物,其系选自下列式(I)至(XIV)之化合物:@qc Ar2I@ps7.5@up3⊕@ps9,9.5,5@dn3.X@ps7.5@up3(141)@ps9,9.5,5@dn3 (I)式中Ar表芳基如苯基或类似物;及@ps7.5@up3(141)@ps9,9.5,5@dn3表PF@ss6@ps7.5@up3(141)@ps9,9.5,5@dn3,ASbF@ss6@ps7.5@up3(141)@ps9,9.5,5@dn3或AsF@ss6@ps7.5@up3(141)@ps9,9.5,5@dn3,@qc Ar3S@ps7.5@up3⊕@ps9,9.5,5@dn3.X@ps7.5@up3(141)@ps9,9.5,5@dn3 (II)式中Ar及X@ps7.5@up3(141)@ps9,9.5,5@dn3具如上相同之定义,式中R表1-12个碳原子之烷基或1-12个碳原子之烷氧基;n表0-3;及X@ps7.5@up3(141)@ps9,9.5,5@dn3具如上相同之定义,式中X@up3(141)@ps9,9.5,5@dn3具如上相同之定义,式中X@up3(141)@ps9,9.5,5@dn3具如上相同之定义,式中X@up3(141)@ps9,9.5,5@dn3具如上相同之定义,式中X@up3(141)@ps9,9.5,5@dn3具如上相同之定义,式中R@ss1及R@ss2分别表1-12个碳原子之烷基或1-12个碳原子之烷氧基,式中R@ss1及R@ss2具如上相同之定义,其中该组成物所包括具乙烯醚基之化合物(B)之量基于每100份重量之聚合物(A)而言,为5-150份重量;以及光化学产生酸之化合物(C)之量基于每100份重量之聚合物(A)及具乙烯醚基之化合物(B)之总量而言,为0.1-40份重量。2. 如申请专利范围第1项之组成物,其中聚合物(A)具有0.5-5当量之羧基/每公斤聚合物(A)。3. 如申请专利范围第1项之组成物,其中聚合物(A)具1,500至30,000之数目平均分子量。4. 如申请专利范围第1项之组成物,包括具乙烯醚基之化合物(B)之量基于每100份重量之聚合物(A)而言,为10-100份重量。5. 如申请专利范围第1项之组成物,包括光化学产生酸之化合物(C)之量基于每100份重量之聚合物(A)及具乙烯醚基之化合物(B)之总量而言,为0.2-20份重量。6. 如申请专利范围第1项之组成物,进一步包含选自啡类, 类,六苯并苯,苯并 类,二苯并 类, 类部花青类及薰草酮类之感光着色剂,其用量基于每100份重量之聚合物(A)而言,为0.1-10份重量。7. 如申请专利范围第6项之组成物,包含感光着色剂之量基于每100份重量之聚合物(A)而言,为0.3-5份重量。8. 一种光敏性组成物,其系包括:(A')具0.5-10当量(对每公斤聚合物(A`)而言)羧基之聚合物,其具3000至100,000之数目平均分子量以及5-70℃之玻璃转移温度,其系一种丙烯酸系单体和苯乙烯之共聚物;(A'')具1-10当量(对每公斤聚合物(A")而言)羟苯基之聚合物,其具500至100,000之数目平均分子量以及5-70℃之玻璃转移温度,其系一种酚化合物、烷基酚化合物或彼等混合物与甲醛之缩合产物;或一种羟基苯乙烯和丙烯酸系单体之共聚物,其中该聚合物(A`)及聚合物(A")之配合比率以(A`)/(A")重量比率表示为于90/10至10/90之范围;(b) 于分子中具至少二个乙烯醚基之化合物,其系具二个至四个各别以式-R-O-CH=CH@ss2表示之乙烯醚基的低分子量或高分子量化合物,式中R表1-6个碳原子之直链或支链伸烷基;或系聚酚化合物及经卤化烷基乙烯醚之缩合产物,或包含芳香族环之聚异氰酸酯化合物及羟烷基乙烯醚之反应产物;(c) 当用光化性光线照射时产生酸之化合物,其系选自下列式(I)至(X)之化合物:@qc Ar2I@ps7.5@up3⊕@ps9,9.5,5@dn3.X@ps7.5@up3(141)@ps9,9.5,5@dn3 (I)式中Ar表芳基如苯基或类似物;及X@ps7.5@up3(141)@ps9,9.5,5@dn3表PF@ss6@su-@ps7.5@up3(141)@ps9,9.5,5@dn3,SbF@ss6@ps7.5@up3(141)@ps9,9.5,5@dn3或AsF@ss6@ps7.5@up3(141)@ps9,9.5,5@dn3,@qc Ar3S@ps7.5@up3⊕@ps9,9.5,5@dn3.X@ps7.5@up3(141)@ps9,9.5,5@dn3 (II)式中Ar及X@ps7.5@up3(141)@ps9,9.5,5@dn3具如上相同之定义,式中R表1-12个碳原子之烷基或1-12个碳原子之烷氧基;n表0-3;及X@ps7.5@up3(141)@ps9,9.5,5@dn3具如上相同之定义,式中X@ps7.5@up3(141)@ps9,9.5,5@dn3具如上相同之定义,式中X@ps7.5@up3(141)@ps9,9.5,5@dn3具如上相同之定义,式中X@ps7.5@up3(141)@ps9,9.5,5@dn3具如上相同之定义,式中X@ps7.5@up3(141)@ps9,9.5,5@dn3具如上相同之定义,式中R@ss1及R@ss2分别表1-12个碳原子之烷基或1-12个碳原子之烷氧基,式中R@ss1及R@ss2具如上相同之定义,其中该组成物所包括具乙烯醚基之化合物(B)之量基于每100份重量之聚合物(A`)及聚合物(A")总量而言,为5-150份重量;以及光化学产生酸之化合物(C)之量基于每100份重量之聚合物(A`)、聚合物(A")及具乙烯醚基之化合物(B)总量而言,为0.1-40份重量。9. 如申请专利范围第8项之组成物,其中聚合物(A`)具0.5-5当量之羧基/每公斤聚合物(A`)。10. 如申请专利范围第8项之组成物,其中聚合物(A`)具5,000至30,000之数目平均分子量。11. 如申请专利范围第8项之组成物,其中聚合物(A")具有至少2-8当量之羟苯基/每公斤聚合物(A")。12. 如申请专利范围第8项之组成物,其中聚合物(A`)具1,000至30,000之数目平均分子量。13. 如申请专利范围第8项之组成物,其中聚合物(A`)及聚合物(A")之配合比率以(A`)/(A")重量比率表示为于70/30至30/70之范围。14. 如申请专利范围第8项之组成物,包括具乙烯醚基之聚合物(B)之量基于每100份重量之聚合物(A`)及聚合物(A")总量而言,为10-100份重量。15. 如申请专利范围第8项之组成物,包括光化学产生酸之化合物(C)之量基于每100份重量之聚合物(A`),聚合物(A")及具乙烯醚基之聚合物(B)之总量而言,为0.2-20份重量。16. 如申请专利范围第8项之组成物,进一步包含选自啡 类, 类,六苯并苯,苯并 类,二苯并 类, 类,部花青类及薰草酮类之感光着色剂,其用量基于每100份重量之聚合物(A`)及聚合物(A")总量而言,为0.1-10份重量。17. 如申请专利范围第16项之组成物,包含感光着色剂之量基于每100份重量之聚合物(A`)及聚合物(A")总量而言,为0.3-5份重量之量。18. 如申请专利范围第1项之组成物,其系用于形成精细图型者。19. 如申请专利范围第8项之组成物,其系用于形成精细图型者。@qc Ar3S@ps7.5@up3⊕@ps9,9.5,5@dn3.X@ps7.5@up3(
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