| 主权项 |
1. 一种制备不溶于水、溶于水性硷之酚醛树脂之方法,包括:(a) 提供一种甲醛、一或多种酚系化合物与催化量之酸性触媒之掺和物;(b) 调整该掺和物之路易士硷浓度至10至1000 ppm,其系藉由1)在缩合作用进行之前调节路易士硷浓度;或2)在缩合作用进行之后调节路易士硷含量;或3)在缩合作用进行之前与之后皆调节路易士硷浓度;或4)经由添加或取走路易士硷而调节路易士硷在原料中之浓度,其中路易士硷是一种有机硷,其添加方式或是:1)纯粹以固态或液态,亦或2)充作盐类或溶液使用于水或合适之有机溶剂或有机溶剂与水的混合液中;其中,路易士硷是具有如下其中一种分子式之有机化合物:其中X=N或CR@ss6,若X=CR@ss6,则分子中须至少有一个基准中心,且在分子式2中,X可为P;R@ss1至R@ss6可为下列任一种:(1) 氢、C@ss1—C@ss1@ss0烷基(两者皆为直链与支链)其中烷基链可以杂原子取代;(2) C@ss3—C@ss1@ss0环烷基;(3) 羟基(4) C@ss1—C@ss1@ss0烷氧基、C@ss3—C@ss1@ss0环烷氧基与C@ss6—C@ss1@ss2芳氧基;(5) C@ss1—C@ss1@ss0烷基或C@ss6—C@ss1@ss2芳基羧酸或酯—COOR与酮取代基—C(=0)R,其中,R为H、C@ss1—C@ss1@ss0烷基或C@ss6—C@ss1@ss2芳基;(6) 卤素或硝基;(7) 胺基、C@ss1—C@ss1@ss0烷胺基与二烷胺基;(8) C@ss3—C@ss1@ss0环烷胺基与二环烷胺基;与(9) C@ss3—C@ss1@ss0环烷基,其中,R@ss1至R@ss5取代基之其中至少二者以上是单环或核环系统之部份;或其中路易士硷是一种有机相对离子之四取代氢氧化铵,其具有化学式如下:其中取代基A、B、C与D可为:(1) C@ss1—C@ss1@ss0烷基;(2) C@ss3—C@ss1@ss0环烷基;(3) C@ss6—C@ss1@ss2芳基或烷芳基(C@ss1—C@ss1@ss0烷基,C@ss6—C@ss1@ss2芳基)之取代基;(4) C@ss1—C@ss1@ss0烷氧基或C@ss3—C@ss1@ss0环烷氧基;(5) C@ss6—C@ss1@ss2芳氧基;(6) C@ss1—C@ss1@ss0烷基或C@ss6—C@ss1@ss2芳基羧酸或酯—COOR与酮取代基—C(=O)R,其中R为H、C@ss1—C@ss1@ss0烷基或C@ss6—C@ss1@ss2芳基;(7) 胺基、C@ss1—C@ss5烷胺基与二烷胺基;(8) C@ss3—C@ss1@ss0环烷胺基与二环烷胺基;(9) C@ss3—C@ss1@ss0环烷基,其中取代基A至D中至少二者为C@ss3—C@ss1@ss0单环或多核环系统之部份;(c) 于触媒存在下,使用该一或多种酚系化合物缩合该甲醛,进而制得具有实质上一致分子量之不溶于水、溶于水性硷之酚醛树酯。2. 根据申请专利范围第1项之方法,其中只在缩合作用进行之后调节路易士硷浓度。3. 根据申请专利范围第1项之方法,其中路易士硷是一种有机相对离子之氢氧化物。4. 根据申请专利范围第1项之方法,其中路易士硷是氢氧化铵。5. 一种制备正性光阻组合物组成物之方法,包括:(a) 提供一种甲醛、一或多种酚系化合物与催化量之酸性触媒之掺和物;(b) 调整该掺和物之路易士硷浓度至10至1000 ppm,其系藉由1)在缩合作用进行之前调节路易士硷浓度;或2)在缩合作用进行之后调节路易士硷含量;或3)在缩合作用进行之前与之后皆调节咯易士硷浓度;或4)经由添加或取走路易士硷而调节路易士硷在原料中之浓度,其中路易士硷是一种有机硷,其添加方式或是:1)纯粹以固态或液态,亦或2)充作盐类或溶液使用于水或合适之有机溶剂或有机溶剂与水的混合液中;其中,路易士硷是具有如下其中一种分子式之有机化合物:其中X=N或CR@ss6,若X=CR@ss6,则分子中须至少有一个基准中心,且在分子式2中,X可为P;R@ss1至R@ss6可为下列任一种:(1) 氢、C@ss1—C@ss1@ss0烷基(两者皆为直链与支链),其中烷基链可以杂原子取代;(2) C@ss3—C@ss1@ss0环烷基;(3) 羟基(4)(C@ss1—C@ss1@ss0烷氧基、C@ss3—C@ss1@ss0环烷氧基与C@ss6—C@ss1@ss2芳氧基;(5) C@ss1—C@ss1@ss0烷基或C@ss6—C@ss1@ss2芳基羧酸或酯—COOR与酮取代基—C(=O)R,其中,R为H、C@ss1—C@ss1@ss0烷基或C@ss6—C@ss1@ss2芳基;(6) 卤素或硝基;(7) 胺基、C@ss1—C@ss1@ss0烷胺基与二烷胺基;(8) C@ss3—C@ss1@ss0环烷胺基与二环烷胺基;与(9) C@ss3—C@ss1@ss0环烷基,其中,R@ss1至R@ss5取代基之其中至少二者以上是单环或核环系统之部份;或其中路易士硷是一种有机相对离子之四取代氢氧化铵,其具有化学式如下:其中取代基A、B、C与D可为:(1) C@ss1—C@ss1@ss0烷基;(2) C@ss3—C@ss1@ss0环烷基;(3) C@ss6—C@ss1@ss2芳基或烷芳基(C@ss1—C@ss1@ss0烷基,C@ss6—C@ss1@ss2芳基)之取代基;(4) C@ss1—C@ss1@ss0烷氧基或C@ss3—C@ss1@ss0环烷氧基;(5) C@ss6—C@ss1@ss2芳氧基;(6) C@ss1—C@ss1@ss0烷基或C@ss6—C@ss1@ss2芳基羧酸或酯—COOR与酮取代基—C(=O)R,其中R为H、C@ss1—C@ss1@ss0烷基或C@ss6—C@ss1@ss2芳基;(7) 胺基、C@ss1—C@ss5烷胺基与二烷胺基;(8) C@ss3—C@ss1@ss0环烷胺基与二环烷胺基;(9) C@ss3—C@ss1@ss0环烷基,其中取代基A至D中至少二者为C@ss3—C@ss1@ss0单环或多核环系统之部份;(c) 于触媒存在下,使用该一或多种酚系化合物缩合该甲醛,进而制得具有所希及实质上一致分子量之不溶于水、溶于水性硷之酚醛树酯;(d) 提供一种掺和物,其中含有:(1)一种光敏感性组份,其含量足以光敏感化此种光阻组合物组成物;(2)酚醛树脂;与(3)适当的溶剂。6. 根据申请专利范围第5项之方法,其中只在缩合作用进行之后调节路易士硷浓度。7. 根据申请专利范围第5项之方法,其中路易士硷是一种有机相对离子之氢氧化物。8. 根据申请专利范围第5项之方法,其中路易士硷是氢氧化铵。9. 根据申请专利范围第5或6项之方法,其中该适当溶剂系选自丙二醇甲基醚醋酸酯、乳酸乙酯或乙基—3—乙氧基丙酸 。10. 根据申请专利范围第5项之方法,其中该制得之光阻组合物系用于一种利用于一适当基质上以制得一光影而制造半导体装置。11. 根据申请专利范围第10项之方法,其中路易士硷只在缩合作用进行之后调节。12. 根据申请专利范围第10项之方法,其中路易士硷是一种有机相对离子之氢氧化物。13. 根据申请专利范围第12项之方法,其中路易士硷是氢氧化铵。14. 根据申请专利范围第10项之方法,其中溶剂系选自丙二醇甲基乙醚醋酸酯、乳酸乙酯与乙基—3—乙氧基丙酸 |
