发明名称 Lichtempfindliche Zusammensetzung und harzumhüllte Halbleiteranordnung.
摘要
申请公布号 DE69021022(T2) 申请公布日期 1996.01.18
申请号 DE1990621022T 申请日期 1990.12.07
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 HAYASE, RUMIKO, C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIVISION, MINATO-KU, TOKYO 105, JP;OBA, MASAYUKI, C/O INTELLECTUAL PROPERTYDIVISION, MINATO-KU, TOKYO 105, JP;KIHARA, NAOKO, C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIVISION, MINATO-KU, TOKYO 105, JP;MIKOGAMI, YUKIHIRO, C/O INTELLECTUAL PROPERTYDIV., MINATO-KU, TOKYO 105, JP
分类号 G03F7/075;H01L21/312;H01L23/29;(IPC1-7):G03F7/075 主分类号 G03F7/075
代理机构 代理人
主权项
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