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<p>Mit einem Träger für Substrate, insbesondere für Halbleiterwafer, ergeben sich wesentlich kürzere Prozeßzeiten bei besseren Prozeßergebnissen durch einen Aufbau, bei dem wenigstens zwei Stäbe (3 bis 6), die zwischen zwei Seitenplatten (1, 2) zueinander parallel beabstandet angeordnet sind, wobei die Stäbe (3 bis 6) Querschlitze (10) zur Aufnahme von Randbereichen der Substrate (7) aufweisen.</p> |
