| 摘要 |
본 발명은 공작물 테이블과 마스크 테이블이 공용하는 균형질량 시스템에 관한 것으로서, 공작물 테이블 시스템을 설치하기 위한 제1부분(11); 마스크 테이블 시스템을 설치하기 위한 제2부분(20); 및 제1부분(11)과 제2부분(20)을 연결하기 위한 제3부분(14)을 포함하는 균형 질량체와 드리프트 방지 및 보상 장치(16)를 포함하며, 균형 질량체의 제1부분(11)은 노광기의 베이스 프레임(1)에 부유되도록 지지되고, 균형 질량체의 제3부분(14)은 드리프트 방지 및 보상장치(16)를 통해 베이스 프레임(1)과 서로 연결되며, 드리프트 방지 및 보상장치(16)는 전체 균형 질량체의 무게 중심 위치에 가깝게 설치된다. 균형질량 시스템을 이용하면 마스크 테이블 시스템의 외부 홀더를 절약할 수 있고, 노광기의 부피와 무게를 줄일 수 있으며, 필요한 균형 질량의 질량을 절감할 수 있어, 전체적인 구조를 더 치밀하게 한다. |
