电浆处理方法及电浆处理装置以及电浆产生装置

摘要

本发明系揭示一可针对被设在处理容器内之被处理体进行电浆成膜处理等之电浆处理的电浆处理方法。该方法具备：将情性气体导入到处理容器内之第一工程，在处理容器内产生惰性气体之电浆之第二工程，接着将用于处理被处理体之处理气体导入到处理容器内之第三工程，以及在处理容器内产生处理气体之电浆而对被处理体进行处理之第四工程。