真空泵系统及真空泵系统之控制方法

摘要

本发明之目的在于将密闭容器至真空泵的管路中的粉尘除去，同时保持密闭容器之压力于既定范围，进而使真空泵系统之维修工时减少。本发明之构成为于半导体单结晶拉引装置中，于连接炉体１，机械加压装置９，乾式泵10之主管路３，８上设置离心集尘装置２，同时，亦在分流管路14上设金属网吸取式集尘装置15。开始作真空吸引操作时，藉由金属网吸取式集尘装置15收集炉体内发生之非晶形矽，炉体内压力进一步下降后，切换成离心集尘装置２。由于随着真空度之上昇，气体流速会变快，故收集粒子之界限直径会变小，进而使收集效果提高。而收集到之非晶形矽会堆积在离心集尘装置２下方，可以很容易地除去，因此维修很容易。又，不致如知之粉尘过滤器般引起堵塞，故炉内压力之变动亦很小。

主权项

1. 一种真空泵系统,其系用来使密闭容器内保持低真空或中度真空者,其特征在于:于密闭容器至真空泵间之管路上设有离心集尘装置。2. 如申请专利范围第1项所述之真空泵系统,其中,将连接装有具备接点之真空计的密闭容器与离心集尘装置之第1主管路的中间处分流,同时,将金属网吸取式集尘装置设在与第1主管路合流之连接上述离心集尘装置与真空泵之第2主管路中间的分流管路上,同时,于上述第1主管路或第2主管路以及分流管路上分别设置自动开闭阀,又,设置依据上述具备接点之真空计的输出信号对上述自动开闭阀输出指令信号之控制装置。3. 一种真空泵系统之控制方法,其特征在于:藉由具备接点之真空计输出信号,对自动开闭阀发出指示信号进行开闭操作,在具备接点之真空计检测出密闭容器中之压力位在100-200Torr的期间,将设在上述第1或第2主管路上的自动开闭阀关闭,同时,将设在分流管路上之自动开闭阀打开,藉由金属网吸取式集尘装置作集尘操作,当密闭容器内之压力在100-200Torr以下时,将设在上述分流管路上之自动开闭阀关闭,并将设在上述第1或第2主管路上的自动开闭阀打开,藉由离心集尘装置作集尘操作。图示简单说明:第1图系使用于半导体单结晶拉引装置之本发明的真空泵系统的管线图。第2图系显示离心集尘装置之概略结构旳部份破断视图。第3图系沿第2图之A-A线的断面图。第4图系显示分别就习知之真空泵系统与本发明之真空泵系统于半导体单结晶拉引时,炉内压力随时间变化状况之比较图式。第5图系显示离心集尘装置中压力与流速关系以及压力与收集粒子直径之关系的图式。第6图系使用于半导体单结晶拉引装置之习知真空泵系统